我国电子工业部高纯水水质试行标准[39]
化学指标单位：μg/L
| 序号 |
水质项目 |
一级高纯水指标 |
二级高纯水指标 |
| 1 |
电阻率（25℃）MΩ·cm |
≥15 |
≥10 |
| 2 |
电导率，μs/cm |
0.05 |
0.1 |
| 3 |
PH值 |
6.8～7.2 |
6.6～7.4 |
| 4 |
细菌总数，个/mL |
＜3 |
＜9 |
| 5 |
微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） |
＜150 |
＜300 |
| 6 |
二氧化硅 |
＜10 |
＜20 |
| 7 |
有机物（以COD计） |
＜0.3 |
＜0.5 |
| 8 |
钠 Na |
＜0.5 |
＜2 |
| 9 |
铁 Fe |
＜1 |
＜2 |
| 10 |
铜 Cu |
＜0.5 |
＜1 |
| 11 |
钙 Ca |
＜1 |
＜3 |
| 12 |
镁 Mg |
＜0.2 |
＜1 |
| 13 |
锌 Zn |
＜0.5 |
＜1 |
| 14 |
锰 Mn |
＜0.2 |
＜0.5 |
说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子工业部标准摘录。
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